13886078494石墨盘是芯片生产的工装，随着使用时间延长而劣化，所以它既是工装也是耗材。
原装进口的石墨盘价格昂贵、而且供货周期长。为了节省成本，保障生产所需，对其实行了国产化。
定制该产品的关键在选材、正面浅圆槽尺寸精度及背面圆环面的平面度和粗糙度。
材料品质决定了石墨盘寿命及本工序工艺质量，正面浅圆槽尺寸精度决定了waffer能否平稳放置、受热均匀，背面圆环面的平面度和粗糙度决定了本工序开始时能否实现气密。
须使用高精度CNC加工。
主要技术参数
| 材质 | 规格 | 底面平面度 | 表面粗糙度 | 上下表面平行度 |
| 高纯石墨 密度：1.9 | φ200×5 wafer：6吋 | 0.0015mm | Ra0.8 | 0.02mm |
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